プロジェクトの目的としては、名古屋大学が独自に開発した反応空間内の原子状ラジカル
濃度を測定するプラズマ診断技術をもとに計測用スマートセンサー、ナノパターニング技
術について研究開発を行い常に最適条件でのナノオーダーの超微細加工が自動的に行える
「自律型ナノ製造装置」を開発しました。
この「自律型ナノ製造装置」の製造過程で、片桐エンジニアリングの真空技術が役立って
います。
そして、この世界の製造業に影響を与える実用的な「自律型ナノ製造装置」がエレクトロ
ニクス産業、機械加工産業、自動車産業、医療・バイオ産業、化学工業の幅広い産業分野
に波及していきます。
反応性の高いラジカルを制御することにより、ナノレベルでの高精度微細加工を行うこと
ができます。
ナノテクノロジーを量産技術として産業化するため、ラジカルの種類と密度をセンシング
する超小型スマートセンサー（ラジカルモニター）、その情報をフィードバックする制御
システムを搭載し、装置が自動的にプロセスを制御する次世代の製造装置である「自律型
ナノ製造装置」を開発しました。
